사업장명 | 광전자(주)제2공장 |
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소재지전체주소 | 전라북도 익산시 팔봉동 847번지 |
도로명전체주소 | 전라북도 익산시 석암로13길 152 (팔봉동) |
인허가일자 | 2011년 12월 20일 (12년 전) |
사용목적 | 반도체제조용 |
사용방법 | 저장소 사용 실란(SiH4) 32.9㎥ 포스핀(PH3) 57㎥ 디보레인(B2H6) 32.9㎥ 염소(Cl2) 200Kg 암모니아(NH3) 76.1Kg 삼불화붕소(BF3) 0.9kg |
수용정원수 | 250 |
월사용량 | 100 |