| 사업장명 | (주)테스 |
|---|---|
| 소재지전체주소 | 경기도 용인시 처인구 양지면 제일리 640-1번지 |
| 도로명전체주소 | 경기도 용인시 처인구 양지면 중부대로 2374-36 |
| 인허가일자 | 2012년 08월 29일 (11년 전) |
| 사용목적 | 제조장비 시험용 |
| 사용방법 | 제조장비 시험용 이염화실란 35㎏, 포스핀(4%/He base) 2㎏, 포스핀(1%/N2 base) 2㎏, 에틸렌(C2H4) 8.586㎥, 프로필렌(C3H6) 11.448㎥, 할로카본(CF4) 7.922㎥, 삼불화염소 10.43㎏, 아산화질소 27.2㎏, 산소 7㎥, 불산(HF) 45.4㎏, 아르곤 7㎥, 질소 7㎥, 헬륨 7㎥ |
| 수용정원수 | 1 |
| 월사용량 | 150 |