| 사업장명 | (주)테스 |
|---|---|
| 소재지전체주소 | 경기도 용인시 처인구 양지면 제일리 640-1번지 |
| 도로명전체주소 | 경기도 용인시 처인구 양지면 중부대로 2374-36 |
| 인허가일자 | 2012년 08월 29일 (11년 전) |
| 사용목적 | 제조장비 시험용 |
| 사용방법 | 제조장비 시험용 모노실란(SiH4) 7.48㎥, 디실란(Si2H6) 5㎏, 암모니아 22.73㎏, 수소 7㎥, 염소 7㎏, 삼불화질소 6.77㎥, 아세틸렌(C2H2) 9.6751㎥, 디보레인(B2H6)(5%/N2 base) 4.8832㎥, 포스핀(0.1%/N2 base) 2㎏ |
| 수용정원수 | 1 |
| 월사용량 | 60 |