사업장명 | 광전자(주)제2공장-폐지 |
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소재지전체주소 | 전라북도 익산시 팔봉동 847번지 |
도로명전체주소 | 전라북도 익산시 석암로13길 152 (팔봉동) |
인허가일자 | 2011년 05월 26일 (12년 전) |
사용목적 | 반도체 제조 |
사용방법 | 실란(SiH4):32.9㎥ 포스핀(PH3):47.6㎥(9.4증가) 디보레인(B2H6):32.9㎥ 염소(Cl2):200kg 암모니아(NH3):51kg 삼불화붕소(BF3):0.9kg |
수용정원수 | 3 |
월사용량 | 300 |